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? 應(yīng)力儀
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DRK8090光電輪廓儀

DRK8090光電輪廓儀

產(chǎn)品品牌:  Drick
檢測項目:  磁(光)盤、磁頭表面、硅片表面粗糙度
產(chǎn)品詢盤:  
咨詢熱線:0531-85868997  13325139791


本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法,測量時不損傷工件表面,能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結(jié)果。


產(chǎn)品細(xì)節(jié)

產(chǎn)品描述

 

特點:適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌;磁(光)盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。

由于儀器測量精度高,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機(jī)控制和快速分析、計算測量結(jié)果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位工礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學(xué)研究單位等。

主要技術(shù)參數(shù)

表面微觀不平深度測量范圍

在連續(xù)表面上,相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時:1000 1nm

相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時:130 1nm

測量的重復(fù)性:δRa 0.5nm

物鏡倍率:40X

數(shù)值孔徑:Φ 65  

工作距離:0.5mm

儀器視場  目視: Φ0.25mm

攝象: 0.13×0.13mm

儀器放大倍數(shù) 目視: 500×

攝象(計算機(jī)屏幕觀察)一2500×

接收器測量列陣:1000X1000

象素尺寸:5.2×5.2μm

測量時間采樣(掃描)時間:1S

儀器標(biāo)準(zhǔn)鏡     反射率(高): 50 %

反射率(低): 4 %

照明光源:白熾燈6V 5W

綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm   

半寬度λ≒10nm   

主顯微鏡升程:110 mm

工作臺升程:5 mm

X 、丫方向移動范圍: 10 mm

工作臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動范圍:360°

工作臺頃斜范圍:±6°

計算機(jī)系統(tǒng):P4 , 2 .8G 以上,內(nèi)存1G以上17寸純平顯示器


注:因技術(shù)進(jìn)步更改資料,恕不另行通知,產(chǎn)品以后期實物為準(zhǔn)。

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